教學進度
| 課程名稱 | 半導體製程與設備 |
| 部別學制系科 | 日間部，五專，機電工程科 |
| 學分時數 | 選修，學分 3.0，時數 3.0 |
| 分類 | 分類代號 D，分類名稱：校訂選修 |
| 代號與教師 | 開課代號：DMT1103AA07，任課教師：曾慶祺 |
| 相關網址 | |
| 評分準則 | 平時成績 40%，期中考評 30%，期末考評 % (僅做參考) |
| 系統備註 | 「授課進度」... 等，教師已確認 |
| 週次 起訖日 |
校務摘要 | 課程進度 |
| 一 1080217 1080223 |
18日開學 ，上午註冊第三節正式上課 | 課程簡介 |
| 二 1080224 1080302 |
28日和平紀念日 | 半導體的基礎 |
| 三 1080303 1080309 |
8日 期初教務會議 | 晶圓製造 |
| 四 1080310 1080316 |
加熱製程-氧化與擴散 | |
| 五 1080317 1080323 |
第一次月考週 | 加熱製程-退火與RTP |
| 六 1080324 1080330 |
微影技術 | |
| 七 1080331 1080406 |
4日婦幼節，5日清明節 | 微影技術 |
| 八 1080407 1080413 |
8日期中教學評量開始 | 微影技術與電漿簡介 |
| 九 1080414 1080420 |
期中考週 19日期中教學評量結束 |
期中考 |
| 十 1080421 1080427 |
離子佈值 | |
| 十一 1080428 1080504 |
溼蝕刻 | |
| 十二 1080505 1080511 |
乾蝕刻 | |
| 十三 1080512 1080518 |
CVD | |
| 十四 1080519 1080525 |
第二次月考週，畢業考週 | CVD |
| 十五 1080526 1080601 |
金屬化製程 | |
| 十六 1080602 1080608 |
7日端午節 | 金屬化製程 |
| 十七 1080609 1080615 |
10日期末教學評量開始 | 製程整合 |
| 十八 1080616 1080622 |
期末考週，22日期末教學評量結束 | 期末考 |