課程資訊

課程名稱	半導體製程
部別學制系科	在職專班，二技，電機與電子工程系
學分時數	選修，學分 3.0，時數 3.0
分類	分類代號 L，分類名稱：專業選修

103/2 學期，於「夜電專三甲」教學之基本資訊

代號與教師	開課代號：SED3103A206，任課教師：趙中興
相關網址	http://120.105.166.165/moodle/mod/page/view.php?id=993
評分準則	平時成績 30%，期中考評 30%，期末考評 % (僅做參考)
其他說明	http://120.105.166.15/course/view.php?id=5029
系統備註	「授課進度」... 等，教師已確認

103/2 學期，於「夜電專三甲」教學之預定進度

週次 起訖日	校務摘要	課程進度
一 1040308 1040314		宣導尊重智慧財產權，不使用影印本教科書，自編教材應引用合法授權來源。 課程介紹
二 1040315 1040321	19日 期初教務會議	半導體材料
三 1040322 1040328		半導體元件
四 1040329 1040404	4/1~4/2日服務學習日	半導體應用
五 1040405 1040411	第一次月考週	物理/化學薄膜沉積
六 1040412 1040418		黃光微影
七 1040419 1040420	20日期中教學評量開始	蝕刻
八 1040426 1040502	1日期中教學評量結束	摻雜
九 1040503 1040509	期中考週	期中考，課程檢討
十 1040510 1040516	14日 期中教務會議	氧化與熱處理
十一 1040517 1040523		先進製程
十二 1040524 1040530	第二次月考週	MOS製程
十三 1040531 1040606		隔離製程
十四 1040607 1040613	畢業考週	金屬化連線製程
十五 1040614 1040620		氣體輸送系統
十六 1040621 1040627	22日期末教學評量開始	真空系統
十七 1040628 1040704	3日期末教學評量結束	設備整合
十八 1040705 1040711	期末考週	期末考，期末檢討