課程資訊

課程名稱	半導體製程
部別學制系科	在職專班，二技，電機與電子工程系
學分時數	選修，學分 3.0，時數 3.0
分類	分類代號 L，分類名稱：專業選修

102/2 學期，於「夜電專三甲」教學之基本資訊

代號與教師	開課代號：SED3102A204，任課教師：田麗文
相關網址	http://120.105.166.15/course/view.php?id=4649
評分準則	平時成績 50%，期中考評 20%，期末考評 % (僅做參考)
系統備註	「授課進度」... 等，教師已確認

102/2 學期，於「夜電專三甲」教學之預定進度

週次 起訖日	校務摘要	課程進度
一 1030223 1030301	28日和平紀念日	宣導尊重智慧財產權，不使用影印本教科書。 課程介紹/評分方式
二 1030302 1030308	6日 期初教務會議	半導體產業簡介/半導體原料及化學製程
三 1030309 1030315		污染控制
四 1030316 1030322	第一次月考週	製程良率
五 1030323 1030329		氧化
六 1030330 1030405	3/31~4/3日服務學習日	基本成形：由表面準備至曝光
七 1030406 1030412	7日期中教學評量開始	基本成形：由顯影至最終檢查
八 1030413 1030419	18日期中教學評量結束	微影製程技術
九 1030420 1030426	期中考週	期中考
十 1030427 1030503	1日 期中教務會議	摻雜
十一 1030504 1030510		沈積
十二 1030511 1030517		金屬化
十三 1030518 1030524		製程及元件的檢測
十四 1030525 1030531	第二次月考週，畢業考週	晶圓製造的事業經營
十五 1030601 1030607		半導體元件及積體電路成形
十六 1030608 1030614	9日期末教學評量開始	積體電路的種類
十七 1030615 1030621	20日期末教學評量結束	封裝
十八 1030622 1030628	期末考週	期末考