課程資訊

課程名稱	半導體製程規劃
部別學制系科	進修部，二技，工業工程與管理系
學分時數	選修，學分 2.0，時數 2.0
分類	分類代號 L，分類名稱：專業選修

100/2 學期，於「夜工四甲」教學之基本資訊

代號與教師	開課代號：NIE3099A402，任課教師：陳烈
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評分準則	平時成績 30%，期中考評 30%，期末考評 % (僅做參考)
系統備註	「授課進度」... 等，教師已確認

100/2 學期，於「夜工四甲」教學之預定進度

週次 起訖日	校務摘要	課程進度
一 1010219 1010225		宣導尊重智慧財產權，不使用影印本教科書。 Ch1 半導體製程導論
二 1010226 1010303	1日 期初教務會議	Ch2 積體電路生產的簡介
三 1010304 1010310		Ch3 此此半導體的基礎
四 1010311 1010317		Ch4 晶圓製造
五 1010318 1010324	第一次月考週	Ch5 加熱製程
六 1010325 1010331		Ch6 微影技術(1)
七 1010401 1010407	2日 3日 6日 服務學習日	Ch7 微影技術(2)
八 1010408 1010414	9日期中課輔開始，9日期中教學評量開始	Ch8 電漿的基礎原理
九 1010415 1010421	期中考週，18日期中課輔結束，20日期中教學評量結束	期中考
十 1010422 1010428	26日 期中教務會議	Ch9 離子佈植
十一 1010429 1010505		Ch10 蝕刻
十二 1010506 1010512		Ch11 化學氣相沉積與介電薄膜(1)
十三 1010513 1010519		Ch12 化學氣相沉積與介電薄膜(2)
十四 1010520 1010526	第二次月考週，畢業考週	畢業考
十五 1010527 1010602
十六 1010603 1010609	9日 畢業典禮 ，4日期末教學評量開始
十七 1010610 1010616	11日期末課輔開始，15日期末教學評量結束
十八 1010617 1010623	期末考週，20日期末課輔結束