課程資訊

課程名稱	半導體製程
部別學制系科	進修部，二技，電子工程系
學分時數	選修，學分 3.0，時數 3.0
分類	分類代號 L，分類名稱：專業選修

97/1 學期，於「夜子四甲」教學之基本資訊

代號與教師	開課代號：NEC3096A334，任課教師：徐慶陸
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評分準則	平時成績 30%，期中考評 30%，期末考評 40% (僅做參考)
系統備註	「授課進度」... 等，教師已確認

97/1 學期，於「夜子四甲」教學之預定進度

週次 起訖日	校務摘要	課程進度
一 970907 970913	8日上午舊生註冊後第三節正式上課 8日進修部舊生註冊後第二節上課	宣導尊重智慧財產權，不影印教科書 半導體產業的發展
二 970914 970920	14日中秋節 17日期初教務會議	半導體的基礎原理
三 970921 970927		良率、無塵室及污染控製
四 970928 971004	28日教師節	晶圓製造
五 971005 971011	第一次月考週 10日國慶日放假	氧化、擴散和再流動製程
六 971012 971018		微影製程
七 971019 971025		微影製程的先進技術
八 971026 971101		電漿的基礎原理
九 971102 971108	3~7日期中考週 8日校慶	期中考
十 971109 971115	10日校慶補假 12日期中教務會議	離子植入
十一 971116 971122	20日校務會議	蝕刻製程
十二 971123 971129		化學氣相沈積
十三 971130 971206		金屬化製程
十四 971207 971213	第二次月考週	化學機械研磨
十五 971214 971220		製程整合簡介
十六 971221 971227	25日行憲紀念日	元件檢測
十七 971228 980103	1日開國紀念日放假	封裝
十八 980104 980110	5~9日期末考週	期末考