教學進度

課程資訊

課程名稱半導體製程與設備
部別學制系科日間部,五專,機電工程科
學分時數選修,學分 3.0,時數 3.0
分類分類代號 D,分類名稱:校訂選修

107/2 學期,於「機電五A」教學之基本資訊

代號與教師開課代號:DMT1103AA07,任課教師:曾慶祺
相關網址
評分準則平時成績 40%,期中考評 30%,期末考評 % (僅做參考)
系統備註「授課進度」... 等,教師已確認

107/2 學期,於「機電五A」教學之預定進度

週次
起訖日
校務摘要 課程進度

1080217
1080223
18日開學 ,上午註冊第三節正式上課 課程簡介

1080224
1080302
28日和平紀念日 半導體的基礎

1080303
1080309
8日 期初教務會議 晶圓製造

1080310
1080316
加熱製程-氧化與擴散

1080317
1080323
第一次月考週 加熱製程-退火與RTP

1080324
1080330
微影技術

1080331
1080406
4日婦幼節,5日清明節 微影技術

1080407
1080413
8日期中教學評量開始 微影技術與電漿簡介

1080414
1080420
期中考週
19日期中教學評量結束
期中考

1080421
1080427
離子佈值
十一
1080428
1080504
溼蝕刻
十二
1080505
1080511
乾蝕刻
十三
1080512
1080518
CVD
十四
1080519
1080525
第二次月考週,畢業考週 CVD
十五
1080526
1080601
金屬化製程
十六
1080602
1080608
7日端午節 金屬化製程
十七
1080609
1080615
10日期末教學評量開始 製程整合
十八
1080616
1080622
期末考週,22日期末教學評量結束 期末考