課程資訊

課程名稱	半導體製程規劃
部別學制系科	日間部，四技，工業工程與管理系
學分時數	選修，學分 2.0，時數 2.0
分類	分類代號 L，分類名稱：專業選修

99/1 學期，於「工二忠」教學之基本資訊

代號與教師	開課代號：DIE4098A302，任課教師：陳烈
相關網址
評分準則	平時成績 30%，期中考評 30%，期末考評 % (僅做參考)
系統備註	「授課進度」... 等，教師已確認

99/1 學期，於「工二忠」教學之預定進度

週次 起訖日	校務摘要	課程進度
十八 1000102 1000108	3~7日期末考週	期末考
一 990905 990911	6日開學，上午註冊第三節正式上課 6日開學，進修部註冊第二節正式上課	宣導尊重智慧財產權，不使用影印本教科書。 課程介紹
二 990912 990918	16日期初教務會議	基本IC 製造流程
三 990919 990925	22日中秋節放假	真空概述與設備
四 990926 991002	28日教師節	半導體製程中的化學物質
五 991003 991009	第一次月考週	氣相沉積設備–CVD薄膜製程設備、PVD薄膜製程設備
六 991010 991016	10日國慶日	氧化及擴散製程設備
七 991017 991023		蝕刻製程設備
八 991024 991030		微影製程與步進機
九 991031 991106	1~5日期中考週	期中考
十 991107 991113	11日期中教務會議 12日校慶	植入製程設備
十一 991114 991120	17日校務會議	溼式清洗設備
十二 991121 991127		化學研磨平坦化設備
十三 991128 991204		潔淨室與SMIF設備
十四 991205 001211	第二次月考週	IC量測
十五 991212 991218		IC製程後段設備-1
十六 991219 991225	25日行憲紀念日	IC製程後段設備-2
十七 991226 1000101	1日開國紀念日	學期總論