課程資訊

課程名稱	半導體製程與設備
部別學制系科	日間部，四技，自動化工程系
學分時數	選修，學分 3.0，時數 3.0
分類	分類代號 L，分類名稱：專業選修

95/2 學期，於「自三忠」教學之基本資訊

代號與教師	開課代號：DAE4093A611，任課教師：曾慶祺
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評分準則	平時成績 40%，期中考評 30%，期末考評 30% (僅做參考)
系統備註	「授課進度」... 等，教師已確認

95/2 學期，於「自三忠」教學之預定進度

週次 起訖日	校務摘要	課程進度
一 960225 960303	26日上午註冊，下午正式上課。 26日進修部註冊第二節上課 28日和平紀念日放假。	課程簡介
二 960304 960310		半導體的基礎
三 960311 960317		晶圓製造
四 960318 960324		加熱製程-氧化與擴散
五 960325 960331	第一次月考週。	加熱製程-退火與RTP
六 960401 960407	5日民族掃墓節放假。	微影技術
七 960408 960414		微影技術
八 960415 960421		微影技術與電漿簡介
九 960422 960428	23~27日期中考週。	期中考
十 960429 960505		離子佈值
十一 960506 960512		溼蝕刻
十二 960513 960519		乾蝕刻
十三 960520 960526	24日校務會議	CVD
十四 960527 960602	28~1日畢業考試。 第二次月考週。	CVD
十五 960603 960609		金屬化製程
十六 960610 960616	16日畢業典禮。	金屬化製程
十七 960617 960623	19日端午節放假	製程整合
十八 960624 960630	25~29日期末考週。	期末考